国产农村妇女毛片精品久久_久久国产乱子伦精品免费午夜_精品人体无码一区二区三区_WWW插插插无码视频网站
深圳市石金科技股份有限公司 歡迎您!
石金科技
石墨制品定制咨詢: 鐘先生 150-1381-7458 羅小姐 137-2866-5346
水土保持行政許可承諾書
水土保持方案登記表
行政許可申請表
關于佛山市石金工業(yè)碳素新材先進制造項目水土保持方案登記表公示

新聞中心

News

咨詢熱線

137-2866-5346
聯(lián)系石金科技

深圳市石金科技股份有限公司

聯(lián)系電話:137-2866-5346

電子郵箱:project@goldstonelee.net

公司地址:深圳市寶安區(qū)燕羅街道塘下涌社區(qū)安潤路2號101,201,301

立即咨詢 在線留言

石金科技告訴你哪些因素影響管式PECVD 鍍膜的均勻性

發(fā)布時間:2020-01-09 點擊次數(shù):5921

經(jīng)過專業(yè)人員從鍍膜工藝參數(shù)設定、硅片制絨面反射率及石墨舟狀態(tài)3 個方面對管式PECVD 鍍膜均勻性進行了研究,結果表明:


      1) 鍍膜過程中適當降低腔體外層壓力,增加內(nèi)層氮硅比,降低射頻功率對片內(nèi)或片間均勻性有所改善。實驗過程中,在保證良率的情況下,選擇外層壓力為1700 mTorr、內(nèi)層氮硅比為4.487、射頻功率為7600 W 時,調(diào)節(jié)DLV 優(yōu)化石墨舟各區(qū)溫度且定期清理腔體內(nèi)部碎片可改善鍍膜均勻性。


      2) 在一定范圍內(nèi),制絨面反射率增加,膜厚增大,片內(nèi)均勻性更優(yōu)。


      3) 新石墨舟鍍膜均勻性明顯優(yōu)于舊石墨舟;在新石墨舟使用周期內(nèi),運行30 次時片間均勻性達到最優(yōu)。

石金石墨舟廠家

本文出自深圳市石金科技股份有限公司,公司是集銷售、應用開發(fā),產(chǎn)品加工的石墨專業(yè)廠家,專門為模具行業(yè)、機械行業(yè)、真空熱處理爐、電子半導體及太陽能光伏(石墨舟)產(chǎn)業(yè)等提供石墨材料、石墨電極和相關的石墨制品,歡迎致電13662687390

石金科技

聯(lián)系部門

鐘先生:150-1381-7458

羅小姐:137-2866-5346

電子郵箱:project@goldstonelee.net

公司地址:深圳市寶安區(qū)燕羅街道塘下涌社區(qū)安潤路2號101,201,301

石金科技
  • 石金科技 石金石墨
  • 石金科技 掃描二維碼
備案號: 粵ICP備14060263號-3    版權所有:深圳市石金科技股份有限公司    技術支持:京馬網(wǎng) 傲馬系統(tǒng)
国产农村妇女毛片精品久久_久久国产乱子伦精品免费午夜_精品人体无码一区二区三区_WWW插插插无码视频网站