高效PERC單晶硅太陽電池局部背表面場(chǎng)的工藝

目前，鈍化發(fā)射極和背面電池(PassivatedEmitter and Rear Cell，PERC) 技術(shù)已成為光伏行業(yè)中提升晶硅太陽電池轉(zhuǎn)換效率的主流高效技術(shù)。PERC 技術(shù)是通過在硅片的背面增加一層鈍化層( 氧化鋁或氧化硅)，對(duì)硅片起到鈍化的作用，可有效提升少子壽命。為了防止鈍化層被破壞，影響鈍化效果，還會(huì)在鈍化層外面再鍍一層氮化硅層。PERC 技術(shù)中引入的背面鈍化可將電池背表面載流子的復(fù)合速率降至 50 cm/s 以下，表面懸掛鍵降至1011 eV?cm2 以下，因而可改善電池背面復(fù)合，提升電池的少子壽命。此外，PERC 單晶硅太陽電池的背面疊層鈍化膜起到了背反射器的作用，可將更多的長(zhǎng)波長(zhǎng)的光反射回電池，從而提升電池的長(zhǎng)波響應(yīng)。但是由于PERC 單晶硅太陽電池的背鈍化層為絕緣層，無法與鋁背場(chǎng)形成電極通路，因而，需要通過激光在硅片背面開槽，形成PERC 單晶硅太陽電池的局部背表面場(chǎng).

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